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나노바이오연구센터
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전계방사형주사전자현미경
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Field Emission Scanning Electron Microscope/Energy(FE-SEM/EDS)
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06RA06-104010-A0001
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전 분야의 생물, 화학물, 천연물 등 표면형상 관찰에 응용 X-ray 분석기 장착을 통한 재료 성분의 정성ㆍ정량 분석에 응용 시료의 오염 불량 원인 분석에 응용
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TESCAN(Czech Republic
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MIRA 3 LMU
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Magnification: X4 ~ X1,000,000 Accelerating Voltage: 200 V to 30 kV Resolution (SE : In-Beam): 1.0 nm at 30 kV(BSE) 2 nm at 30 kV(LVSTD) 1.5 nm at 30 kV Electron Optics Working Modes: Resolution, Depth, Field, Wide Field, Rocking Beam mode Probe Current: 2 pA to 100 nA
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전자선 Electron Beam을 시료의 표면에 주사하여 전자선을 한 곳에 집중시키면 1차 전자만 굴절되며, 표면에서 발생된 이차전자와 반사전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시킴. 또한 이차전자와 후방산란전자의 강도를 영상화시켜 미시영역 관찰이 가능
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오성화
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나노바이오연구센터
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융합연구팀
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061-399-0535
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osh0478@hanmail.net
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